Kurs:

Vakuumphysik

– Vakuumelektronik, Vakuumbeschichtung, Elektronenmikroskop –

Beschreibung:

Wir lernen in Theorie und verschiedenen Experimenten die Gesetze der Vakuumphysik und Vakuumelektronik kennen und bauen bis Kursende ein kleines einfaches Elektronenmikroskop für Schulversuche.

Inhalte:

Grundbegriffe, Gasgesetze, Grobvakuum, Feinvakuum, Hochvakuum
Technik der Vakuumerzeugung, Vakuumpumpen, Vakuumgefäße, Dichtungen, Vakuum-Messgeräte
Glimmentladung, Plasmaerzeugung, Ionen- und Elektronenstrahlen
Erzeugung und Strukturierung dünner Schichten auf Oberflächen im Vakuum , Aufdampfen, Sputtern, Ionenätzen
Beschleunigung und Bewegung von Elektronen- und Ionen in elektrischen und magnetischen Feldern, Vakuumelektronik, Elektronenmikroskop